PRODUCT

제품소개
KLA - Gemini

동종업체 최초 개발

횡력 제어 및 정밀 특성 측정
측정강도와 위치를 동시측정하는 준정적 다이나믹시험

KLA - NanoFlip

샘플의 이동없이 SEM,AFM 동시측정.

다재다능함의 핵심.
SEM,진공챔버 안에서 테스트 가능.
AFM,광학현미경에서도 테스트가능.

KLA - InSEM System

SEM or FIB 안에 삽입하여 시험하는 나노인덴테이션

In SEM I - SEM port 타입
InSEM III - SEM Cradle 타입
InSEM HT - 800℃ 온도옵션